A800DAC是满足先进制程、拥有完整Cluster系统的原子层沉积镀膜设备。可制备满足功率器件、Micro-OLED、先进封装等半导体或泛半导体市场要求的高绝缘、优阻隔、低杂质的钝化和/或封装等多种先进薄膜应用。
A800DAC是满足先进制程、拥有完整Cluster系统的原子层沉积镀膜设备。可制备满足功率器件、Micro-OLED、先进封装等半导体或泛半导体市场要求的高绝缘、优阻隔、低杂质的钝化和/或封装等多种先进薄膜应用。
在复杂结构的优异附着力和保形性
具备优质抗击穿性能
具备优质防水气侵蚀性能
全自动化基板装载
适用于工业4.0的先进控制系统
经国际认证机构认可的ALD系统设计
在复杂结构的优异附着力和保形性
具备优质抗击穿性能
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